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- US122090102025MEMS and Method of Manufacturing the Same
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
0 cites - US120135272024Two Degree-of-freedom Actuator and MEMS Device
Fraunhofer-gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.v.
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