4 Patents
- US124739042025Electrostatic Micro-pump and a Process to Produce an Electrostatic Micro-pump
Fraunhofer-gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.v.
0 cites - US124048502025Method for Producing a Micropump with Mechanically Biased Diaphragm Actuator
Fraunhofer-gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.v.
0 cites - US122817242025Method for Manufacturing a Micromechanical Device and Micromechanical Valve
Fraunhofer-gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.v.
0 cites - US115557252023Microstructured Fluid Flow Control Device
Fraunhofer-gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.v.
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