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- US125343592026MEMS for Highly Efficient Interaction with a Volume Flow
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
0 cites - US117706592023MEMS Device, Assembly Comprising the MEMS Device, and Method of Operating the MEMS Device
Fraunhofer-gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E. V.
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