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- US120543842024MEMS Comprising a Movable Structural Element, and MEMS Array
Fraunhofer-gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E. V.
0 cites - US119874912024MEMS Actuator Element and MEMS Actuator Array with a Plurality of MEMS Actuator Elements
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
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